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Produktdetails:
Zahlung und Versand AGB:
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| Schlüsselwort: | Vakuumglühofen | Kammer-Größe: | dia100*200mm |
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| Max. Temperature: | 1100C | Operations-Temperatur: | niedriger als 1000C |
| Nennleistung: | 10KW | Temperatur-Genauigkeit: | +/- 1C |
| Heizelement: | helles Rohr des Halogens | maximale Abkühlgeschwindigkeit: | 60C/min. |
| Max. Heizquote: | 50C/min. | Einzelteil: | Laborrohr-Ofen |
| Markieren: | Vakuumröhreofen,Ofen der hohen Temperatur Labor |
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1000C RTP Schnellglühofen Halogenlichtröhrenbeheizter Vakuumofen
Anwendung des Schnellglühofens RTP
Dieses Produkt nimmt internationale fortschrittliche Fertigungstechnologie an, die Modellierung ist eine neuartige und vernünftige Struktur;Hat alle Arten von Validierungsprobenexperimenten durchgeführt und ist in der Forschung und Entwicklung und Produktion von Halbleitergeräten usw. weit verbreitet
1.Um das schnelle Glühen nach der Ionenimplantation zu erfüllen;
2. Kann in der schnellen Legierung des ohmschen Kontakts auch verwendet werden;
3. Kann auch zum Glühen von Silizidlegierungen, Oxidwachstum verwendet werden;
4. und Kupfer-Indium-Gallium-Selenid-Photovoltaik-Anwendungen von Selenablagerungen wie schnelle Wärmebehandlung
Merkmale
Der kompakte RTP-Schnellglühofen SP-1100RTP ist ein kompakter Röhrenofen zur schnellen Erwärmung mit 4-Zoll-Quarzrohr und Vakuumflansch. Er wurde speziell zum Glühen von Halbleiter- oder Solarzellenwafern entwickelt.
Es wird durch 8 Stück 10-KW-Halogenlichtröhren um die Kammer herum beheizt.Die Heizrate kann bis max.50C/Sekunde.Der Präzisionstemperaturregler mit 51 Segmenten ist mit einer Genauigkeit von +/- 1 ° C gebaut. Sie können den Ofen steuern und die Temperaturkurve über den RS485-Steckeranschluss und die Steuersoftware überwachen.
| Produktname | Schnellglührohrofen RTP |
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Merkmale |
1.Quartz-Probenhalter am beweglichen Flansch befestigt, Proben einfach laden 2. 76 mm AIN-Platte auf dem Probenhalter, tragen Sie die Probe, die getempert werden muss. 3.Eingebettete Thermik stellt sicher, dass die Temperatur einheitlich ist. 4. Nimmt PID-Autosteuerung an, 30 programmierbare Segmente.Inklusive Überhitzungs- und Stoßschutz. |
| Technische Parameter | Eingangsleistung: 208 V~240 V 50/60 HZ |
| Ofenstruktur: Doppelschicht mit Luftkühlungsgebläsesystem | |
| Quarzrohr: Außendurchmesser φ110 mm, Innendurchmesser φ103 mm, Länge 380 mm | |
| Probenhalter: 76 mm | |
| Heizelement: 8 Infrarotlichter, Filamentlänge, 200 mm.Lichtring ,φ 10 mm | |
| Thermoelement: Typ K | |
| Temperaturgenauigkeit: ±1 .C | |
| Maximale Temperatur: 1100 ° C, Nenntemperatur 1000 ° C, Zeit während 1000 ~ 1100 ° C <600 s | |
| Max. Heizrate: 50.C/s unter Rt-800.C, 10.C/min während 800~1000.C | |
| Maximale Kühlrate: 60.C/min unter 200 mttor, 117.C/min unter 0,1 MPa | |
| Produktabmessung | 760 mm* 330 mm* 530 mm, Gewicht: 45 kg |
Normteile für diesen Rohrofen
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Standard-Ersatzteile |
1 | AIN-Platte | 1 Stück |
| 2 | Probenhalter aus Quarz | 1 Satz | |
| 3 | Quarzrohr | 1 Stück | |
| 4 | Quarzstein | 4 Stück | |
| 5 | Infrarotlicht | 8 Stk | |
| 6 | Vakuumflansch | 1 Anzug | |
| 7 | Handschuhe für hohe Temperaturen | 1 Paar | |
| Optionale Ersatzteile | 1.Vakuumpumpe 2. Faltenbalg (KF-D25-Anschluss) 3. KF-D25, Schnellzugriff | ||
Unsere Garantie:
Garantie: Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung, ausgenommen vom Benutzer beschädigte Heizelemente.
Aufmerksamkeit:Jegliche Schäden, die durch die Verwendung von korrosiven und sauren Gasen verursacht werden, sowie Schäden durch falsche Bedienung und Verwendung fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte Garantie.
Ansprechpartner: Ms. Vera Zuo
Telefon: 86-13607649242
